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簡(jiǎn)要描述:XslicerSMX-6000微焦點(diǎn)X射線檢查系統(tǒng)是島津公司采用自制的微焦點(diǎn)X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。
詳細(xì)介紹
將X射線和CT結(jié)合
XslicerSMX-6000微焦點(diǎn)X射線檢查系統(tǒng)是島津公司采用自制的微焦點(diǎn)X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。
順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起,全新的CT處理引擎能夠進(jìn)行全自動(dòng)校準(zhǔn)、高速拍攝以及重構(gòu)。
高放大倍數(shù)、高分辨率的圖像不會(huì)變形,從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內(nèi)部的細(xì)微構(gòu)造和缺陷。
Easy operation
采用全新UI(用戶界面)可以實(shí)現(xiàn)直觀的簡(jiǎn)單操作。關(guān)閉拉門后即可開始檢查。即使對(duì)于初次使用者,也可以輕松地進(jìn)行X射線檢查
Easy CT imaging
從X射線透視觀察到CT攝影只需點(diǎn)擊切換圖標(biāo)。對(duì)于透視觀察難以識(shí)別的立體構(gòu)造物品,通過簡(jiǎn)單的操作就能立刻切換到斷面觀察。
High Speed Scan & Reconstruction
設(shè)備采用了可實(shí)現(xiàn)*自動(dòng)化校正與高速CT 掃描&重建的「Xslicer 」系統(tǒng)。從CT拍攝開始到顯示截面圖像最短可在3分鐘以內(nèi)完成。
Easy operation 直觀的操作
通過大型顯示器以及簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)視認(rèn)性良好的直觀操作。即使對(duì)于初次使用者,也可以輕松地進(jìn)行X射線檢查。
使用大型顯示器
本品采用了27英寸大型顯示器。通過簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置以及高清晰度的大型檢出器,可在視認(rèn)性良好的狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行仔細(xì)的觀察。
用X射線圖像定位
只需點(diǎn)擊X射線圖像上的任意一點(diǎn),就可以對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行全行程的移動(dòng)控制。包括 XY·傾斜·旋轉(zhuǎn)以及變更視野大小等。
使用外觀圖像定位
本品使用了拍攝外觀圖像的專用相機(jī),能夠?qū)φ麄€(gè)載物臺(tái)進(jìn)行攝影。只需在外觀圖像點(diǎn)擊的希望檢查的位置,即可對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行定位。當(dāng)然,操作人員也可以通過對(duì)外觀圖像進(jìn)行放大或縮小,來實(shí)現(xiàn)部件級(jí)別的詳細(xì)定位。這樣,操作者的視線無(wú)需離開顯視器便可連續(xù)進(jìn)行操作。
微焦點(diǎn)X射線檢查系統(tǒng)Easy operation 操作簡(jiǎn)便
從放入樣品起只需3步即可開始X射線透視拍攝。
STEP1更換樣品
按下更換樣品按鈕
●停止發(fā)射X射線
●解除正門的電磁鎖
●載物臺(tái)會(huì)自動(dòng)移動(dòng)到便于更換樣品的位置
STEP2開始檢查
關(guān)閉正門,按下開始按鈕。
● 發(fā)射X射線
● 拍攝整個(gè)載物臺(tái)的外觀圖像
STEP3定位
在拍攝的外觀圖像上確定大致的觀察位置并點(diǎn)擊該位置點(diǎn),再在X射線透視圖像上點(diǎn)擊鼠標(biāo),精確確定觀察位置。
由于采用了新的UI(用戶界面),全部的移動(dòng)操作可通過點(diǎn)擊或拖拽X射線圖像來實(shí)現(xiàn)。這樣操作者的視線無(wú)需離開監(jiān)視器便可快速進(jìn)行移動(dòng)的操作。
<中心位置移動(dòng)>
若鼠標(biāo)點(diǎn)擊X射線圖像的顯示區(qū)域,則移動(dòng)前圖像上被點(diǎn)擊的位置就成為當(dāng)前顯示區(qū)域的中心。
<放大>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi),從左往右拖拽鼠標(biāo),則拖拽的范圍會(huì)放大到全屏顯示。
<縮小>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi),從右往左拖拽鼠標(biāo),則畫面會(huì)按照一定的倍率縮小。
Easy CT imaging 輕松的CT拍攝
對(duì)于透視圖像上不易識(shí)別、具有復(fù)雜的立體構(gòu)造的樣品可分為不同層面進(jìn)行斷面觀察。
CT的原理
當(dāng)平板檢出器傾斜時(shí),載物臺(tái)一邊進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn),檢出器一邊采集X射線透視圖像,利用采集的透視圖像進(jìn)行重建演算,形成截面圖像。如果只使用X射線透視進(jìn)行觀察,由于在射線方向的信息會(huì)疊加,導(dǎo)致無(wú)法分辨雙面實(shí)裝基板的正反面;但如果使用X射線CT,就可以細(xì)致地觀察每一個(gè)層面。
進(jìn)行X射線透視時(shí),射線方向(一般為樣品厚度方向)上的信息會(huì)重疊,如果樣品為雙面實(shí)裝基板,則無(wú)法分辨觀察點(diǎn)處于基板的哪一面,但如果使用X射線CT模式檢測(cè),就可以對(duì)每個(gè)層面單獨(dú)進(jìn)行觀察。
Smooth Switching 順暢切換
只需選擇菜單圖標(biāo)便可輕松實(shí)現(xiàn)X射線透視與CT拍攝之間的切換。CT拍攝的條件設(shè)置十分簡(jiǎn)單,只需選擇拍攝模式、拍攝角度、拍攝視野即可完成。在透視檢查中希望觀察的點(diǎn)可立刻順暢切換至CT觀察模式。
High Speed Scan & Reconstruction高速拍攝&高速重建
設(shè)備采用新型CT處理引擎「XslicerEngine」,過去的CT拍攝開始前必須的校正作業(yè)現(xiàn)在*自動(dòng)化,真正實(shí)現(xiàn)了高速拍攝。從CT拍攝到顯示截面圖像最快可在3分鐘內(nèi)完成。(※簡(jiǎn)易模式下)
另外,「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度,數(shù)據(jù)采集結(jié)束后僅需5秒便可顯示出截面圖像。
可選軟件
Image-Pro Analyzer
是功能強(qiáng)大的2維圖像處理軟件。
VGStudio三維圖像處理軟件
將使用X射線CT拍攝的截面圖像,通過Volume lettering(VR)以三維形式顯示的軟件。具備基本的動(dòng)畫制作和簡(jiǎn)單的測(cè)量功能。
輔助檢查的各項(xiàng)功能
教學(xué)(Teaching)功能
只要事先登錄好檢查點(diǎn),就可以高效率的對(duì)同一種樣品進(jìn)行相同要求的檢測(cè)。
自動(dòng)畫質(zhì)調(diào)整功能
系統(tǒng)可對(duì)各個(gè)畫面設(shè)定最合適的觀察條件。
全景圖像
只需從外觀圖像上選定拍攝范圍,即可輕松得到最合適的全景立體圖像。
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